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CYG502超微型压力传感器

CYG502超微型压力传感器

详细介绍
标称尺寸外径2mm的超微型压力传感器CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。CYG502的压力敏感元件采用先进的MEMSMiro Electronic Machinical Systems)技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅硅直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化, 为超微型传感器的实现取得关键突破。
更多详细资料,请到网站下载中心查看CYG502系列。

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