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CYG503型微型压力传感器

CYG503型微型压力传感器

详细介绍
 标称尺寸外径3mm的微型压力传感器CYG503是专为空气动力学研究试验中,要求安装尺寸小,不扰动流场,动态响应优良动态压力分布测量而设计的。应用于如发动机进气道压力畸变、喘振等的空气动力学性能测定,敏感元件的固有频率>200kHz.
 CYG503的压力敏感元件采用先进的MEMSMiro Electronic Machinical Systems)技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械加工,精密各向异性腐蚀形成的硅薄膜力敏结构使其具有很高的压力灵敏度和小至1.5mm以下的径向尺度。先进的微型化的压力敏感芯片采用无应力封装技术,密封封装在特制的微型安装基座和不锈钢毛细管中。绝压型传感器参考压力腔是芯片背面密封的真空腔,表压型传感器的参考压力腔是通过一根更细的不锈钢毛细管从背面引出与大气沟通。也为了方便用户为取得稳定的压力参考而用细尼龙管将它引至气压稳定处.
 CYG503的设计制作专利已获得国家发明专利授权、专利号为:200410103083.3。

更多详细资料,请到网站下载中心查看
CYG503系列。

相关标签:高频微型传感器

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