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CYG514型薄型压力传感器

CYG514型薄型压力传感器

详细介绍
CYG514型薄型压力传感器是专为空气动力学研究中,风洞中试验模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄,无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将薄的CYG514传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装,因此它基本上不影响被测流场。
 CYG514的压力敏感元件采用先进的MEMS技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械加工,精密各向异性腐蚀及硅硅直接键合技术使得硅薄膜力敏结构具有很高灵敏度,很优良稳定性,很优良动态性能的同时具有超薄的厚度。它综合力敏结构与衬底加固结构的总厚度仅为0.6mm,更有利于获得更薄最终尺寸的薄形传感器。
更多详细资料,请到网站下载中心查看CYG
514系列。

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